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[Ⅱ類] 電子物性デバイス工学研究室
デバイス理工学メジャー
センシング材料とデバイス、さらにはデバイス創製のための要素技術を含めたプロセスと評価技術に関する研究を、材料創製からその評価、さらにはデバイス作製までを一貫して行うことで遂行している。センシング材料の創製にはスパッタ法、同軸型アークプラズマ堆積法などの物理気相成長法を主に用いている。近年、宇宙空間などの極環境でも動作できるIoTデバイスを創製することを目的として、オールダイヤモンドによる光、磁気、化学センシングデバイスの創製に注力している。
●宇宙をはじめとする極環境で動作できるオールダイヤモンドによる光、磁気、化学センシングデバイスの創製
●酸化ガリウム膜のダイヤモンド上へのヘテロエピタキシャル成長に基づいたpn接合型光受光素子の創製
●物理気相成長法によるナノダイヤモンド膜成長のプロセス開発と硬質被膜、生体親和被膜などとしの応用