検索キーワード：電離反応工学
1 研究室が該当しました。
ブックマークリストからオンライン面談や研究室訪問の申し込みが出来ます。
[Ⅱ類] 電離反応工学研究室
デバイス理工学メジャー
電離反応を利用したプラズマプロセスは、通常の環境下では起こらない物理・化学的効果を発現可能であり、エレクトロニクス・材料分野から環境・エネルギー分野まで、持続可能社会を支える最先端技術です。私たちはプラズマやレーザーを駆使した①各種製造プロセスの開発・最適化やデバイス性能の解析、②過酷な環境下で使えるエレクトロニクス材料・デバイスやヒトにやさしいバイオ機能材料・デバイスの開発など、次世代を切り拓く先端的研究に取り組んでいます。
●プラズマ／レーザープロセスのレーザー計測法によ
るパラメータ計測と反応制御
●パルスレーザー計測法による窒化物半導体の温度／
歪みの非接触測定法の開発
●ナノ構造カーボン材料の電子エミッターへの応用
●ワイドバンドギャップ材料を用いた高温ダイオード
および高温キャパシターの開発
●超硬質材料の表面機能制御とバイオ機能評価